1樓：greenstar格林斯達
樓主您好，根據您提出的問題，下面為您做明兄拆詳細解答：
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻激棗膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs，同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物。
半導體有機廢氣處理辦法採用rto裝置處理rto蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水，淨化廢氣，並**廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達到99%以上，熱**效塵搏率達到95%以上。
直接燃燒法處理有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐（to）→煙囪排氣達標排放。
希望此次對您有所幫助！
2樓：處談瀟
半導體廢氣達標的話可以直接進行排放，不達標需要先進行治理然後進行排放，至於是否達標需要找權威的第三首滾方檢測機構進行檢測，然後確定其是否能排放，據我瞭解量化檢測就滑鋒是乙個權威的第三方檢測機構，這邊能提供專業的檢測服務，服務效率也比者讓餘較高，深圳這邊有很多企業都是找這家機構進行指標檢測的，確實這家機構要更權威一些，提供的檢測服務也比較優質。
3樓：帳號已登出
半導體企業酸性或鹼性廢氣，格林斯達廢氣處理公司採用的廢氣治理工藝為：酸鹼中和處理法。 酸鹼廢氣治理工藝流程為：
風管廢氣收集→酸性/鹼性廢氣洗滌塔化友運學洗滌→耐腐蝕風機引風→煙囪排氣達標排放。
半導體企業有機廢氣禪告跡治理工藝為：直接燃燒法 有機賀並廢氣治理工藝流程為： 有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐(to)→煙囪排氣達標排放。
4樓：汲沛嵐
半導體行業酸鹼廢氣處理通常採用液體噴淋法，又稱化學洗滌法。
半導體行業廢氣如何處理？
5樓：greenstar格林斯達
樓主您好，根據您提出的問題，下面為您做詳細解答：
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑激棗大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是vocs，同時廢氣中還混合了hcl、氨、hf等危險汙染物，分離和處理難度比較大。下面為您介紹半導體廢氣處理方法：
半導體酸廢氣處理方法半導體酸廢氣處理通常採用鹼液體噴淋法，又稱化學洗滌法。因液體自明兄拆身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除塵搏汙染物，而達到大氣排放標準，故噴淋法是半導體行業酸鹼廢氣治理普遍採用的主要處理方法。
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