1樓:懂視生活
摘要:矽片可分為拋光片、外延片、soi矽片等。拋光片(pw):
由單晶矽棒經過切割、研磨、拋光等工藝而產出。拋光片應用廣泛,目前半導體行業所使用的矽片70%都為拋光片,既可直接用於製作儲存晶元搜搏與功率器件等半導體器件,又可作為外延片、soi片的襯底材料念漏告。接下來本文將簡單介紹矽片拋光片與外延片區別是什麼以及矽片拋光片用於**,快和我一起到文中來看看吧!
一、矽片拋光片與外延片區別是什麼。
根據用途分類,半導體矽片可分為拋光片、退火片、外延片、結隔離片和以soi矽片為代表的高階矽片。那麼矽片拋光片與外延片區別是什麼呢?
拋光片可以用於製作儲存晶元,功率器件,以及外延片的襯底材料。外延片,是在拋光片的基礎上生長了一層單晶矽,一般用於通用處理器晶元,二極體,以及igbt功率器件的製造。由於拋光原始顆粒細微、粒度尺寸小於可見光的波長,所以均勻地分佈後形成外觀透明或半透明的拋光膜。
二、矽片拋光片用於**。
拋光片是用量最大的產品,其他的矽片產品都是在拋仔明光片的基礎上二次加工產生的。
拋光片是最基礎、應用範圍最廣的矽片。拋光片可直接用於製作半導體器件,廣泛應用於儲存晶元與功率器件等,也可作為外延片、soi矽片等其他型別矽片的襯底材料。
隨著積體電路特徵線寬的不斷縮小,光刻精度日益精細,矽片上極其微小的不平整都會造成積體電路圖形的形變和錯位,矽片製造技術面臨越來越高的要求和挑戰,矽片表面顆粒度和潔淨度對半導體產品的良率也有直接影響。
因此,拋光工藝對提高矽片表面的平整度和清潔度至關重要,主要原理為通過去除加工表面殘留的損傷層,實現半導體矽片表面平坦化,減小粗糙度。
2樓:江西國材科技****
矽片拋光片運穗局主要用於半導體制造中,如用於製造積體電路晶元、太陽能電池等器件的矽片表面拋光。矽片拋光片的主要作用是去除矽片表面的不平整和雜質,使其表面更加族判光滑、純淨,以提高製造器件的質量旁讓和效能。
矽片主要用於雷射加工嗎
3樓:
你好,很高興為你服務,為你作出如下解答:矽片主要用於雷射加工,它可以用來製作微型零件,如微型電路板、磨手微型感測器和微型機械零件等。雷射加工中可能會遇到的問題有:
1.雷射加工時,矽片表面出現燒傷痕跡:這是由於雷射加工時,雷射能量過大,導致矽片表面受到熱能的影響,從而出現燒傷痕跡。
解決方法是:降低雷射能量,減少雷射加工時的雷射能量,以免燒傷矽片表面。2.
雷射加工時,矽片表面出現裂紋:這是由於雷射加工時,雷射能量過大,導致矽片表面受到熱能的影響,從而出現裂紋。解決方法是:
降低雷射能量,減少雷射加工時的雷射能量,以免燒傷矽片表面。3.雷射加工時,矽片表面出現熔池:
這是由於雷射加工時,雷射能量過大,導致矽片表面受到熱能的影響,從而出現熔池。解決方法是:降低雷射能量,鏈圓減少雷射加工時的雷射能量,以免燒傷矽片表面。
步驟:1.首先,檢查雷射加工機的雷射能量,確保雷射能量不超過矽片表面的耐熱溫度;2.
其次,檢查雷射加工機的雷射功率,確保雷射功率不超過矽片表面的耐熱棚遊塌溫度;3.最後,檢查雷射加工機的雷射頻率,確保雷射頻率不超過矽片表面的耐熱溫度。個人心得。
矽拋光圓片是什麼材料做的
4樓:
摘要。矽片又稱矽晶圓片, 是製作積體電路的重要材料,通過對矽片進行光刻、離子注入等手 段,可以製成積體電路和各種半導體器件。矽片是以矽為材料製造的片狀物體,矽拋光圓片是什麼材料做的。
親親,矽拋光片一般是製造過程中的"假森李片"又叫dummy 或dummy wafer,是為了裝置執行和保護晶圓片而重複使用租羨,屬於生產輔料,萬萬不可混料出貨;也弊春拍有另乙個叫拋光的是後工程專業名詞,為晶圓片封裝切割前必須在反面磨薄拋光,也會叫拋光片;
半導體材料矽晶片又稱晶圓片,是由矽錠加工而成的,通過專門的工藝可以在矽晶片陪襲上刻蝕出數以百萬計的電晶體,被廣泛應用於積體電路的製造。晶圓片矽屬於半導體材料,其自身段亂敬的導電性握慎並不是很好。
它是什麼材料做成的,是什麼塑料。
半導體材料矽晶片又稱晶圓片,是由矽高皮錠加工而成的,通過專門的工藝可以在坦棚矽晶片上刻蝕出戚信差數以百萬計的電晶體。
矽片又稱矽晶圓片, 是製作積體電路的重要材滲好料告薯,通過對矽片進行光刻、離子注入等手 段,可以製成積體電路和各種半導叢友鉛體器件。矽片是以矽為材料製造的片狀物體, 矽晶圓片是正式的晶元材料,依製造過程入料並形圓告成內部線路,就是有功能滑洞可**的芯圓,一般稱為wafer的即是橘讓明指這種圓片;矽拋光片一般是製造過程中的"假片"又叫dummy
矽片製備的矽拋光片檢測
5樓:司馬藉
包括緩譁告目檢、幾何尺寸檢測和熱氧化層錯檢測等。目檢是在正面高強度光或大面積散射光照射下目測拋光片上的原生缺陷和二次缺陷。這些缺陷包括邊緣碎裂、沾汙、裂紋、弧坑、鴉爪、波紋、槽、霧、嵌入磨料顆粒、小丘、桔皮、淺坑、劃道、亮點、退刀痕和雜質條蘆巨集紋等。
幾何尺寸的檢測包括矽片的厚度、總厚度變化、彎曲度和平整度的檢測。厚度為矽片中心上、下表面兩個對應點之間的距離;總厚度變化為同一矽片上厚度最大值與最小值之差;彎曲度為矽片的中線面與參考平面之間距離的最大值與最小值之差;平整度指矽片表面上最高點與最低點的高度差,用總指示讀數表徵。矽片的熱氧化層錯檢測是指矽拋光片表面的機械損傷、雜質沾汙和微缺陷等在矽片熱氧化過程中均會產生熱氧化層錯,經擇優腐擾明蝕後,在金相顯微鏡下觀測熱氧化層錯的密度,以此鑑定矽片表面的質量。
拋光片的介紹
6樓:爵爺2貨
拋光片是將奈米級二氧化矽顆粒與高效粘合劑混合後,均勻地塗覆於聚酯薄膜的表面,經乾燥和固化反應而成。
矽拋光片的化學清洗辦法有哪些
7樓:
1.新建鍋爐的化學清洗。
熱力裝置化學清洗原則方案應與鍋爐初設一併送審。
對蒸汽壓力在以上的汽包爐,必須進行啟動前的鍋爐化學清洗。對容量在200mw以上機組的凝結水譁塵及高、低壓給水管道,應進行化學清洗。對蒸汽壓力在及以上鍋爐,應進行過熱器蒸汽吹管或化學清洗。
對過熱器進行整體化學清洗時,必須防止垂直蛇形管發生汽塞、氧化鐵沉積和奧氏鋼腐蝕的措施。對再熱器,除鏽蝕嚴重外,不再進行化學清洗,可採取蒸汽吹管。
2.執行鍋爐的化學清洗。
對於執行鍋爐的化學清洗,要慶蘆首在停爐期間進行,譽數通常是結合機組檢修時間加以安排。
化學清洗時間應根據沉積物量及執行年限確定。當鍋爐水冷壁內沉積物量達到表1中數值(洗垢法,向火側180°)或鍋爐化學清洗時間間隔達到表中規定時,應對鍋爐進行化學清洗。
鍋爐及其熱力系統化學清洗的質量應達到如下要求:
1)被清洗金屬表面清潔,基本無殘留氧化物、焊渣及其他雜物。
2)無明顯金屬初晶析出的過洗現象,無二次浮鏽,無點蝕;腐蝕指示片無點蝕,平均腐蝕速率應小於8 g/ (m22h),腐蝕總量應小於80 g/ m2;不應有鍍銅現象並應形成良好的鈍化保護膜。
為了達到上述要求,故鍋爐化學清洗通常包括鹼洗(鹼煮)、酸洗、漂洗及鈍化工藝。
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