為什麼整個光刻步驟要在黃光照明的暗室內進行

2021-03-09 05:27:01 字數 1206 閱讀 5674

1樓:禾鳥

原因:旋塗光刻膠的厚度與**的光源波長有關(不同級別的**波長對應不同的光刻膠種類和解析度):i-line最厚,約0.

7~3μm;krf的厚度約0.4~0.9μm;arf的厚度約0.

2~0.5μm。

黃光照明,避免了光輻照後可能產生酸或產生交聯。

決定光刻膠塗膠厚度的關鍵引數:光刻膠的黏度(viscosity),黏度越低,光刻膠的厚度越薄;旋轉速度,速度越快,厚度越薄。

擴充套件資料

1、準分子光刻技術作為當前主流的光刻技術,主要包括:特徵尺寸為0.1μm的248nmkrf準分子鐳射技術;特徵尺寸為90nm的193nmarf準分子鐳射技術;特徵尺寸為65nm的193nmarf浸沒式技術(immersion,193i)。

2、光刻膠的技術複雜,品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理,可分負性膠和正性膠兩類。光照後形成不可溶物質的是負性膠;反之,對某些溶劑是不可溶的,經光照後變成可溶物質的即為正性膠。

2樓:葉葉卿卿

這是有歷史原因的。

早期的光刻膠一般對黃光不敏感,而對其他波長的光比較敏感,因此clean room裡面的照明一般都是黃光照明,避免了光輻照後可能產生酸或產生交聯(和**的效果一樣,只是劑量少一點);現在很多光刻膠的光學性質發生了很大改變,不一定只是黃光才不敏感。但是之前一直用黃光照明,那麼就一直沿用下來了。

另一個原因是,光刻過程中可能需要很多光刻膠,萬一用到一種早期光刻膠呢?所以還是用黃光比較保險。

3樓:匿名使用者

黃光源的波長不會破壞光刻膠的特性.

為什麼pcb無塵車間裡面要用黃光

4樓:深圳海博防護

大多數的感光膠(光阻、光刻膠)的光敏感範圍皆在450nm以下,故原則上無塵室的光線波長只要在500nm以上就算是安全,不會造成提早感光及誤曝的情況,則紅光、黃光、綠光、藍光皆可以被採用於無塵室的照明,但因其下列原因,故選擇"黃光"作為該無塵室的主要照明。

•紅光無塵室,若長期待上8個小時,心情較會變得心浮氣躁。

•綠光無塵室,在綠光的投射下,見到無塵室內的同事,會變成"看到鬼"。

•藍光無塵室,因藍光波長太靠近紫外光,導致較長波長(436nm)敏感之光阻,可能造成誤**。

•黃光無塵室,是物理及人性方面最能被為接受的。

綜合以上原因,故採用黃光無塵室。

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