對於腐蝕工藝它到底是什麼樣的過程

2021-03-10 08:12:12 字數 658 閱讀 7283

1樓:匿名使用者

溼法化學腐蝕bai是最早用於微機械結du

構制zhi造的加工方法。所謂溼法腐

dao蝕,就是將

版晶片置於液態的權化學腐蝕液中進行腐蝕,在腐蝕過程中,腐蝕液將把它所接觸的材料通過化學反應逐步浸蝕溶掉。用於化學腐蝕的試劑很多,有酸性腐蝕劑,鹼性腐蝕劑以及有機腐蝕劑等。根據所選擇的腐蝕劑,又可分為各向同性腐蝕和各向異性腐蝕劑。

各向同性腐蝕的試劑很多,包括各種鹽類(如**基、nh 基等)和酸,但是由於受到能否獲得高純試劑,以及希望避免金屬離子的玷汙這兩個因素的限制,因此廣泛採用hf—hno3腐蝕系統。各向異性腐蝕是指對矽的不同晶面具有不同的腐蝕速率。基於這種腐蝕特性,可在矽襯底上加工出各種各樣的微結構。

各向異性腐蝕劑一般分為兩類,一類是有機腐蝕劑,包括epw(乙二胺、鄰苯二酚和水)和聯胺等,另一類是無機腐蝕劑,包括鹼性腐蝕液,如koh、naoh、nh4oh等。就溼法和幹法比較而言,溼法的腐蝕速率快、各向異性差、成本低,腐蝕厚度可以達到整個矽片的厚度,具有較高的機械靈敏度。但控制腐蝕厚度困難,且難以與積體電路進行整合。

2樓:匿名使用者

腐蝕工藝流程不盡相同,主要還是把畫面與填白處分離清楚後用酸將畫面部分腐蝕下去而填白處則不會接觸到酸而得到保護,由此也就分出了畫面。儘管各類腐蝕流程不同但主要的還是這個原理。

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